共焦点3D表面測定装置
色収差共焦点方式で、段差、突起、キズ、膜厚を測定します。
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01 / INSPECTION
検査・測定項目
- 専用光学系による表面撮像
- 卓上・インライン構成
02 / METHOD
検査方式
シュリーレン光学系、ラインカメラ、移動ステージで外観画像を取得します。
サンプル、視野、生産条件に応じて構成と検査範囲を確認します。
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